高端光刻机为什么难“买”又难“造”?

网上有关“高端光刻机为什么难“买”又难“造”?”话题很是火热,小编也是针对高端光刻机为什么难“买”又难“造”?寻找了一些与之相关的一些信息进行分析,如果能碰巧解决你现在面临的问...

网上有关“高端光刻机为什么难“买”又难“造”?”话题很是火热,小编也是针对高端光刻机为什么难“买”又难“造”?寻找了一些与之相关的一些信息进行分析,如果能碰巧解决你现在面临的问题,希望能够帮助到您。

我们国内确实是既难买又难造高端的光刻机,包括7纳米的和5纳米的,当前就是在这最后的一个端上陷入了现实的两难处境,短期内不可能脱离,是个长期性的现实。

只要成功研发出了高端的制造技术,难造就会变成易造了;只要即将成功制造出高端的光刻机产品,难买就会变成易买了 。处境变成两易的了!而到了两易的时候, 只要不受国内已经易买国外高端产品这个“外部干扰”,坚持不懈地自主制造即将成功的高端光刻机,直至下线、量产、上市,就完全彻底脱离出两难处境了 ,再买高端的,多了一个好的选择,头一回能来个货比两家,关键是个更好的选择,因为是本国自主可控的;再造更高端的,有了一个高的基础,关键在于更高端的不过是同一端上的,即便是顶级的。 这就是造与买的关系在我们中国的样子,连造与买低端和中端光刻机的关系也是这个样,与在美国及其盟国盟友那里的大不相同,已经被 历史 上的正和反事实反反复复地证明了。

造与买的关系在今后的中国只会是这个样! 与美国及其盟国盟友大不相同,我们国内不造高端以及顶级光刻机就根本买不到,将造出就买得到,已造出就会被国内和国外买,造出高端光刻机的企业也能赚来大钱,特别是,让本国的高端芯片制造企业在核心工艺设备上不可能再被美国和荷兰联合起来卡脖子了,在其它工艺设备以及材料上也就不可能再被美国单独卡脖子了,从而让本国的高端芯片设计企业在高端芯片代工上也不可能再被卡脖子,还让本国的高端封测企业将其拥有的高端技术用在高端国产芯片封测上,终结一连串本国企业的一大段无奈、尴尬甚至有的屈辱、有的耻辱的 历史 ;关键是,让本国断在高端光刻机技术和产品上的高端技术链产业链供应链建起了、强起了,整个雄起,尽管高端光刻机很可能是最后补上的一强,接着,高端自主的国产芯片就有了!再接着,就会有、还会相对快地有更为高端直至顶级的自主芯片!在达到了7纳米高端自主的时候,在整个的中国这里,买国外芯片花大钱的 历史 就终结了,卖国产芯片赚大钱的 历史 就开启了,看看吧、想想吧, 造不如买?!

为什么陷入了两难处境? 从现象上看,难买外国的是因为国内没有制造出来高端光刻机产品,难造本国的是因为国内没有研发出来高端光刻机技术,技术和产品都被国外垄断着,由此可知, 从实质上看,国内没有研发出来高端技术既是难买又是难造高端产品的实质性原因,也就是陷入两难处境的实质原因,正确处理造与买的关系就成为了摆脱两难处境的实质性办法 。 历史 事实表明, “造不如买”的实质就是“研不如买”。 自己研发出来高端自主制造技术包括整机集成的和部件制作的固然也是难的,不仅是最前面的难,还是最难的, 而到如今仍是难买又难造,与自主研发技术曾经是人为造成的最难大有关系

光刻机被誉为半导体产业皇冠上的明珠。光刻机的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上,在某种程度上来说,光刻工艺的决定了半导体线路的线宽,同时也决定了芯片的性能与功耗,越高端的芯片,所需要的光刻工艺也越先进。

“工欲善其事,必先利其器”,光刻机就是芯片制造中的那一把“利器”,也被誉为半导体产业皇冠上的明珠。光刻机的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上,在某种程度上来说,光刻工艺的决定了半导体线路的线宽,同时也决定了芯片的性能与功耗,越高端的芯片,所需要的光刻工艺也越先进。

大家都知道,芯片很重要,离开了芯片,几乎所有电子设备都会失去作用。但要是离开光刻机,自然也就制造不出芯片,同样也不可能有手机、电脑等电子设备的产生。

光刻机的关键技术:以光为媒,刻化微纳于方寸之间

指甲盖大小的一枚芯片,内部却包含了上千万个晶体管,犹如一座超级城市,线路错综复杂,这跟光刻机的工作原理相关,其中涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进学科。因此光刻机是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,具备极高的单台价值。

如果单纯从工作原理的角度来解析,光刻机并不复杂。“以光为媒,刻化微纳于方寸之间”,光刻机是通过串联的光源能力以及形状控制手段,将光束透射过画着线路图的校正,经过物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法进行显影、刻蚀处理,最终得到刻在硅片上的电路图。

但是它最难的在于,需要在极小的空间内完成超精细的纳米级雕刻工艺,为具备这项能力。需要掌握的关键技术有很多,主要包括以下几种:

1、“微缩投影系统”即所谓的“光刻机镜头”。这种镜头不是一般的镜头,其尺寸可以达到高2米直径1米甚至更大。光刻机的整个曝光光学系统,可能需要20多块锅底大的镜片串联组成,将光学零件精度控制在纳米级别。每块镜片都由高纯度透光材料制成,还包括高质量抛光处理等过程,一块镜头的成本在数万美元上下;

2、既然叫做“光刻机”,所以“光源”也是光刻机的核心之一,要求光源必须发出能量稳定且光谱很窄很窄的紫外光,这样才能保证加工精度和精度的稳定性。按照光源的发展轨迹,光刻机从最初的紫外光源(UV)发展到深紫外光(DUV),再到如今的极紫外光(EUV),三者最大的不同在于波长,波长越短,曝光的特征尺寸就越小。

(资料源自上海微电子官网、东兴证券研究所,OFweek电子工程网制图)

最早的光刻机采用汞灯产生的紫外光源,从g-line一直发展到i-line,波长从436nm缩短到365nm。随后,业界利用电子束激发惰性气体和卤素气体结合形成的气体分子, 向基态跃迁时所产生准分子激光的深紫外光源,将波长进一步缩短至193nm,由于在此过程中遇到了技术障碍,因此采用浸没式(immersion)等技术进行矫正后,光刻机的极限光刻工艺节点可达28nm。

如今,业界最先进的光刻机是EUV光刻机,将准分子激光照射在锡等靶材上,激发出波长13.5nm的光子作为光刻机光源。EUV光刻机大幅度提升了半导体工艺水平,能够实现7nm及以下工艺,为摩尔定律的延续提供了更好地方向。而业界也只有ASML一家能够提供EUV设备,处于产业金字塔顶端;

3、分辨率,对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面都有关系,总体来说,分辨率和光源波长的关系可以用公式“R(分辨率)=K1(工艺参数)λ(光源波长)/NA(光学镜头的数值孔径)”;

4、工艺节点,是反映芯片技术工艺水平最直接的参数。工艺节点的尺寸数值基本上和晶体管的长宽成正比关系,每一个节点基本上是前一个节点的0.7倍,0.7X0.7=0.49,所以每一代工艺节点上晶体管的面积都比上一代小大约一半,因此单位面积上的晶体管数量将翻番,这就是著名的摩尔定律。一般18 24个月,工艺节点就会发展一代。

工艺节点发展以28nm为分水岭,虽然依然按照0.7倍的规律前进,但实际上晶体管的面积以及电性能的提升远落后于节点数值变化。比如英特尔当时统计数据显示,他们20nm工艺的实际性能已经相当于三星14nm和台积电的16nm工艺。更麻烦的是,不同厂商工艺节点换算方法不一,导致了很多理解上的混乱。因此,只有对芯片有很高要求的产品才会采用28nm及以下先进工艺。当然,发展到现在,台积电已经开发出了更为先进的5nm工艺并实现量产,今年下半年就会有搭载相关芯片的产品面世。

高端光刻机为什么难买又难造?

一般来说,一条芯片生产线上需要好几台光刻机,而一台光刻机的造价也非常高,其中成像系统和定位系统最贵,整台设备算下来造价三千万到五亿美元不等。此外,光刻机上的零部件还包括来自瑞典的轴承、德国的镜头、美国的光栅、法国的阀件等等,都属于各个国家的高端工艺产品。

光刻机的折旧速度非常快,每天大概就要花费3 9万人民币,将其称为“印钞机”也不为过。正是因为光刻机昂贵的造价和上文中提到的各项高先进技术,ASML一年也只能制造出20多台EUV光刻机。

这么昂贵的设备,ASML公司一年卖出几台就够养活整个公司了,中国市场一直以来都是ASML看好的重点业务区域,但是却偏偏不能向中国出售高端光刻机,为什么呢?这里就要提到《瓦森纳协定》。比如中芯国际苦苦等待的EUV光刻机,虽然设备一直没到,但是也没有因此停止研发进程,已经在14nm的基础上研发出“N+1”、“N+2”工艺,等同于7nm工艺,公司联合首席执行官兼执行董事梁孟松也透露出,现阶段哪怕不用EUV光刻机,也可以实现7nm工艺。但想要大规模成熟量产,依然离不开EUV光刻机。

中国又被誉为“制造大国”,既然买不着,那自己造如何?

在过去,搜狐能 copy 雅虎,淘宝能 copy eBay,滴滴 copy Uber,那咱们能不能 copy 一个ASML出来自己造光刻机?要知道,ASML可谓是当前光刻机领域的“一哥”,尽管尼康和佳能与之并称“光刻机三巨头”,但在支持14nm及以下的光刻机上,唯有ASML一家独大。

“光刻机之王”ASML的成功难以复制。ASML出身名门,由原本荷兰著名的电器制造商飞利浦公司半导体部门独立拆分出来,于2001年更名为 ASML。

在ASML背后,还有英特尔、三星、台积电、SK海力士等半导体巨头为其撑腰,只有投资了ASML,才能成为其客户,拿到光刻机产品的优先供货权。多方资本注入下,ASML也有了更多强化自身实力的机会:

2001年,ASML收购美国光刻机厂商硅谷集团获得反射技术,市场份额反超佳能,直追尼康;

2007年,ASML收购美国 Brion 公司,成为ASML整体光刻产品战略的基石;

2012年,ASML收购全球知名准分子激光器厂商Cymer,加强光刻机光源设备及技术;

2016年,ASML收购台湾半导体设备厂商汉微科,引入先进的电子束晶圆检测设备及技术;

2016年,ASML收购德国卡尔蔡司子公司24.9%股份,加强自身微影镜头技术;

2019年,ASML宣布收购其竞争对手光刻机制造商Mapper知识产权资产。

在上文中提到,光刻机设备融合了多门复杂学科,不仅种类繁多,还要求是当前该领域最先进的技术,放眼当下没有任何一家公司敢说自己能在这些领域都做到最好。也就只有ASML能够不断通过自研、收购等方式,一步步走上神坛。

说出来很多人可能不信,我国最早研发光刻机的时候,ASML还没有出现。资料记载,1977年也就是中国恢复高考那年,我国最早的光刻机-GK-3型半自动接近式光刻机诞生,由上海光学机械厂试制。

80年代其实开了个好头,1981年,中国科学院半导体所成功研制出JK-1型半自动接近式光刻机样机。1982年国产KHA-75-1光刻机的诞生,估计跟当时最先进的佳能相比也就相差4年。1985年中国第一台分步投影式光刻机诞生,跟美国造出分布式光刻机的时间差距不超过7年。这些都说明当时中国其实已经注意到了投影光刻技术的重要性,只是苦于国内生产工艺尚不成熟,所以很难实现量产。

80年代末期,“造不如买”的思想席卷了大批制造企业,我国半导体产业研发进程出现了脱节,光刻机产业也未能幸免。

虽然后续一直在追赶国外列强的脚步,但产业环境的落后加上本来就与世界先进企业有差距,使得中国终究没有在高端光刻机领域留下属于自己的痕迹。

“眼看他起朱楼,眼看他楼塌了”,80年代初期奠定的中国光刻机产业基础就这样被轻视了。这也是为什么我国光刻机产业一直赶不上国外的原因,再加上光刻机制造所需要的各种零部件,也都受到不同程度的管制,如今想再追回来,实在太难。

中国高端光刻机正在路上

2001年, 科技 部和上海市于2002年共同推动成立上海微电子装备公司,承担国家“863计划”项目研发100nm高端光刻机。据悉,中电科四十五所当时将其从事分步投影光刻机团队整体迁至上海参与其中;

2008年, 科技 部召开国家 科技 重大专项"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"推进会,将EUV技术列为下一代光刻技术重点攻关的方向。中国企业也将EUV光刻机列为了集成电路制造领域的发展重点对象。

如今,国内从事光刻机及相关研究生产的除了上海微电子装备、合肥芯硕半导体、江苏影速集成电路装备以外,还有清华大学精密仪器系、中科院光电技术研究所、中电科四十五所等高校/科研单位。

在研发成果上,2016年,清华大学“光刻机双工件台系统样机研发”项目成功通过验收;2016年,清华大学“光刻机双工件台系统样机研发”项目成功通过验收;2018年,国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备”通过验收,也是世界上首台用紫外光源实现22nm分辨率的光刻机,意义在于用便宜的光源实现较高的分辨率,用于一些特殊制造场景。

可以看到,在光刻机的自主研发进程上,中国也取得了很大的进步。但相对来说比较缓慢,要想真正研发出高端光刻机,需保证多个学科和领域的技术水平达到或者超过世界先进水平,任何一环节落下都会影响产品的性能。

这是美国的精准打击,有本事查查这个馊点子是如何出笼?我觉得正是我们50年代人掌舵时缺乏几乎所有科学知识,被自己权力切割,连同40后与60后的纽带一同切掉,30后已失能,40后除做房地产的尖子,其余趋向失能,50后是鸿沟的分界,权力中心做自然科学的极少,人才都是做买卖的,买不到自然只有造,说造,得创新,虽然少,但不乏有能做光学化学电学,机电一体化的,光电的组织能力,基本都要退休能要吗?后来60,70都是40,50教的,他们都缺乏系统边缘渗透交融能力,天天喊隔行如隔山,各霸一方,搞这种综合高 科技 设备既缺乏专业精通,又少有隔行合作的气量,包括航空发动机也一样,他瞄准了不打这,那打什么?

高端光刻机难买是因为以美国为首的西方国家对中国进行严密的技术封锁,难造是因为光刻机是高 科技 的集成产品,在我国基础如此薄弱的情况下还能取得如此成绩本身就是一个奇迹,假以时日,光刻机也会象盾构机一样被攻克。

因为世界上的高端光刻机只有荷兰在生产,产量有限所以难买。光刻机融合了工业制造的几乎各个方面的高精技术所以也难造。

难买是别个不想让你超越自己!难造是因为之前有配套设施没把它当回事!接下来重视起来了就不难造了!

上周三,美国解除了对小米的制裁。

对小米来说,这是好事情,不过,有业内人士可不这么看。

有人疑问,美国制裁了国内这么多公司,怎么单单就解禁了小米?

各家公司技术大拿们的回应也是五花八门,来看几个:

伤害性不大,侮辱性极强;

小米真不是 科技 围堵的对象;

小米但凡有点拿出手的技术,这官司都打不赢;

……

事情的起因是这样的,2020年上旬,美国商务部工业与安全局(BIS)将77个实体列入“实体清单”,其中大部分为中国船舶制造企业、高校以及个人,北京理工大学、北京邮电大学、南京航空航天大学等高校及中芯国际、大疆创新、同方威视、中国交建等公司均被包括在内。

随后,特朗普政府发布的“实体清单”涵盖超过275家中国企业及关联公司,包括华为及其150家关联机构、中兴通讯、海康威视、科大讯飞、旷视 科技 等。

今年1月中旬,美国国防部以所谓“与中国军方有联系”为由,将中国公司小米和其他8家中国企业列入了贸易黑名单,要求美国企业和个人在规定期限(3月15日)前出售他们在这些公司的股份。

小米是一家上市公司,因受美国制裁,美国的投资者必须在2021年11月11日前把手上的小米股票卖出。

1月15日,小米发布公告称,公司确认其并非中国军方拥有、控制或关联方,亦非美国NDAA法律下定义的中国军方公司。本公司将会采取合适的措施保护公司和股东的利益。

受到制裁后,小米的股票断崖式下跌,市值最高跌了3000多亿。

随后,小米在美国哥伦比亚特区联邦地方法院对美国国防部和财政部提起法律诉讼。

当地时间3月12日——距离美国限制小米股票交易的禁令生效(3月15日)之际,美国一联邦法官就小米公司起诉美国防部一案发出初步禁止令,禁止美国国防部将小米列为所谓“与中国军方相关企业”政策的生效或实施。

彭博社报道称,华盛顿的一名法官针对小米对美前任政府实施的制裁提起的诉讼做出了判决,结果显示,将禁止美国国防部限制美国对中国智能手机制造商小米公司的投资。

美国地区法官表示:“从小米身上看不到国家安全威胁。”

也就是说小米胜诉了。这对小米来说,是巨大胜利的和利好。

截至目前,美国政府解除制裁的,唯有小米公司一家。

之前,外界一致认为,能被美国“制裁”,恰恰是对这些企业、机构及个人的“表彰”和“肯定”,是一种至高无上的“荣誉”,由此证明这些企业、机构是中国 科技 含金量最高的企业。

上了美国制裁名单的,无论是组织、企业还是个人,都称得上是“民族脊梁”,说明他们有能力威胁到了美帝国主义霸权。

所以才有了前述业内人士的评价,美国放过小米,伤害性不大,侮辱性极强。

有分析认为,小米的核心部件CPU太依赖美国高通骁龙,小米手机虽然销量高,但是大部分的利润都被歪果仁赚走了,据媒体报道,小米之前80%的订单使用的都是高通芯片。

此外,根据CCASS网站数据显示,美国券商持有小米股东占比较大,其中摩通持股量为25.3亿股,占比12.35%,花旗银行持股量20.93亿股,占比10.22%,摩根士丹利持股量4.8亿股,占比2.34%,三者合计持股量达到24.91%。欧资券商汇丰持股量为55.35亿股,占比为27.01%,瑞银持股占比5.16%,渣打持股占比2.56%。

任正非曾经说过:一个 科技 公司想要不断前行、发展长远,就必须要不断地研发,他认为一家合格的公司研发费用率要持续高于10%。

对于任正非的说法,雷军曾经提出了质疑。

2018年4月,雷军在接受媒体采访时说:“我自己是做技术的,过去两年手机的研发是我自己管的,我一直都在做研发。研发费用的本质不是越多越好,如果越多越好,微软不就成了日不落帝国?其实,几乎所有的重大创新都是小公司干的,搜索引擎是(规模很小时候的)谷歌干的吧?你看,苹果的研发费用占比很低,微软很高,IBM很高,没用呀。”

“我不同意华为(研发费用率要持续高于10%)的说法,我觉得是他们不懂研发,(高管)不(亲自)做研发。我们小米所有的创始人都是研发背景,我们干了一辈子研发。干研发,没有钱是不行的,但是也不是某些公司机械的理解,没有10%投研发就不行,那是胡扯。当年,乔布斯对此也是嗤之以鼻,当年苹果投2%在研发,微软投多少钱?IBM投多少钱?他们讥笑苹果没有创新。乔布斯说,那是因为你们效率太低了!”

所以,很多时候,一个公司掌舵人的看法决定了公司要走的路,华为和小米分别是“技工贸”和“贸工技”的典型代表。

关于“高端光刻机为什么难“买”又难“造”?”这个话题的介绍,今天小编就给大家分享完了,如果对你有所帮助请保持对本站的关注!

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  • admin
    admin 2025年01月10日

    我是加商百科号的签约作者“admin”!

  • admin
    admin 2025年01月10日

    希望本篇文章《高端光刻机为什么难“买”又难“造”?》能对你有所帮助!

  • admin
    admin 2025年01月10日

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    admin 2025年01月10日

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